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電子工業(yè)氣體六氟化硫、氯化氫技術(shù)指標(biāo)
2016-1-4 14:29:05
|
項(xiàng)目名稱(chēng) |
范圍 |
指標(biāo) | ||
|
SF6純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 |
≥ |
99.99 | ||
|
空氣含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
50.0 | ||
|
CF4含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
15.0 | ||
|
H2O含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
8.0 | ||
|
酸度（以HF計(jì)）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
1.0 | ||
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可水解氟化物（以HF計(jì)）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
1.0 | ||
|
其他雜志（CO2、C2F6、C2F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10）（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
15.0 | ||
|
雜志總和（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
100 | ||
|
顆粒 |
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由供需雙方商定 | ||
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| ||||
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項(xiàng)目名稱(chēng) |
范圍 |
指標(biāo) | ||
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Hcl純度（體積分?jǐn)?shù)）/10-2 |
≥ |
99.999 | ||
|
O2+Ar含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
1 | ||
|
N2含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
2 | ||
|
CO含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
2 | ||
|
CO2含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
2 | ||
|
CH4含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
0.5 | ||
|
烴類(lèi)（C1~C3）含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
1 | ||
|
H2O含量（體積分?jǐn)?shù)）/10-6 |
≤ |
1 | ||
|
金屬離子含量（Fe）/10-6 |
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0.5 | ||
|
其他離子Mn、Zn、Cr、Co、Cu、Ni含量（質(zhì)量分?jǐn)?shù)）/10-6 |
|
- | ||
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