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廣州譜源準分子激光氣體填補多項國內空白

2014-3-14 21:01:56

廣州市譜源氣體公司通過對全球最主要準分子激光器應用的研究和開發，開創了準分子激光氣體國產化的新紀元，填補了國產準分子激光氣體在醫療、光纖、平板顯示、半導體、電子等諸多領域應用的多項國內空白，目前對全球各個系列的氟化氬ArF（193nm）、氟化氪KrF（248nm）、氯化氙XeCl（308nm）、氟化氙XeF（351nm）設備均能提供相應的產品。相對于以往準分子激光氣體嚴重依賴進口的情況，廣州譜源氣體準分子項目的市場進入、開發和拓展，降低了多個行業準分子激光應用和運營的成本。此外，以往進口氣如無庫存的情況下，到貨周期快則2個月，慢則需要3個月，如遇到進口清關的問題，甚至需要更長的時間。廣州譜源氣體以快速靈活的生產和配送方式，大大縮短了準分子激光氣體的供應周期。完善的生產工藝體系和服務反應體系，更好的配合了國內客戶對效率的需求，目前，廣州譜源準分子激光氣體已被眾多激光用戶、廠商所認可和推崇，市場影響力和占有率也在穩步的提升。

廣州譜源氣體通過十多年準分子激光氣體的開發和研究，經驗告訴我們，準分子激光氣體雜質對激光腔有著嚴重的危害，雜質中的水、氧會對腔體內表面造成損害，從而使激光腔內壁鈍化膜失效或剝落，影響激光的穩定輸出和腔體的壽命；同樣，氣體對顆粒度也有非常高的要求，內壁剝落的鈍化膜和雜質中的粉塵在高速工作運轉下，都會對鏡片及激光腔造成不可逆轉的永久性傷害；氣體的配制精度誤差過大給設備帶來的危害不可估量，由于氣體混配誤差過大，致使激光腔長期高電壓負荷運轉，以保證能量的穩定輸出，在此過程中電極的壽命會加速縮短，并揮發出CF₄等有害氣體雜質和粉塵污染物，這些雜質將會對鏡片鍍膜層造成一定的污染，影響激光的能量輸出效率并縮短了鏡片清洗的時間間隔和使用壽命。

廣州譜源氣體擁有目前世界上先進的氣體純化系統和分離技術，其中包括對惰性氣體顆粒度、H₂O、O₂、HF、CF₄、CO、CO₂、碳氫化合物等雜質的過濾和分離。廣州世源氣體對分析系統不斷的開發和投入，嚴格控制氣體中的微量污染物，并對氣體分裝和配制技術進行了眾多改進，從而顯著提升了純度和混配精度。就是這種對卓越永無止境的追求，使廣州譜源氣體準分子激光氣體的穩定性和一致性得到了有效的管理和控制，并為多個國家和地區提供產品服務。

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