氦氖激光器的結構

氦氖激光器由激光放電管、諧震腔和激勵電源三部份組成。激光管的中心是一根毛細玻璃管，稱作放電管（直徑為1mm左右）；外套為儲氣部分（直徑約45mm）；A是鎢棒，作為陽極；K是鉬或鋁制成的圓筒，作為陰極。殼的兩端貼有兩塊與放電管垂直并相互平行的反射鏡，構成平凹諧振腔。兩個鏡版都鍍以多層介質膜，一個是全反射鏡，通常鍍17層膜。交替地真空蒸氟化鎂（MgF2與硫化鋅（ZnS）。另一鏡作為輸出鏡，通常鍍7層或9層膜（由最佳透過率決定）。毛細管內充入總氣壓約為2Torr（托）的He、Ne混合氣體，其混合氣壓比為5：1－7：1左右。內腔管結構緊湊，使用方便，所以應用比較廣泛。但有時為了特殊的需要也常選用全外腔式或半外腔式。 全外腔式的放電管和鏡片是完全分離的，半外腔式是上兩種形式的結合。