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工業(yè)氣體、高純氣體和雜質(zhì)表示方法
2015-10-14 10:51:54
電子工業(yè)氣體所用氣體分為單質(zhì)氣體（如氫、氧、氮……），多元氣體（硅烷，氨、氯化氫）和混合氣體（硅烷和氫、磷烷和氮……）。氣體純度的含義是指除基本氣體外，剩余結(jié)尾雜質(zhì)。氣體純度的等級有多種，如普通純、高純和特純（超純）。所謂電子純是指具體的半導(dǎo)體器件應(yīng)用而言的。至于說普通純、高純和特純氣體是幾個“9”，則與具體雜質(zhì)含量多少有關(guān)。氣體純度表示通常有兩類。
對化學(xué)家來說，一般用99%，99.9%，99.99%，99.999%，99.9999%，99.99999%，99.999999%等純度表示。那么其余1%，0.1%，0.01%，0.001%，0.0001%，0.00001%，0.000001%為雜質(zhì)。
物理學(xué)家根據(jù)上述幾“9”的說法采用簡便的方法，即n個“9”的說法，如上上面的純度可以分別寫成2N,3N,4N,5N,6N,7N,8N.如果寫成4N8或5N5，這時純度分別為99.998%和99.9995%；如果寫成5N85，則純度為99.99985%。
關(guān)于雜質(zhì)含量有常量、微量、和痕量來表示，對于低于微量和痕量雜質(zhì)一般指ppm~ppb及范圍。具體的雜質(zhì)濃度時：1ppm=10-4%；1ppb=10-7%；1ppt=10-10%
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