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    單頻準分子激光

    2011-12-15 10:04:31

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        所謂的單頻準分子激光就是脈沖氣體激光,在電流通過時被激活,釋放出某一波長的單色光。氣體是由惰性氣體和鹵素混合而成,激活的惰性氣體和鹵素可形成鹵化物 “Excimer”一詞來自激態分子的意思,即受激態準分子是一種激態二聚體“Excimer Dimer”,這兩個單詞組合成 “Excimer”。
     
        目前應用的單頻準分子激光主要有以下幾種:氬氟(ArF)準分子激光其波長193nm;氪氟(KrF)準分子激光其波長248nm;氙氯(XeCl)準分子激光其波長308nm; 氙氟(XeF)準分子激光其波長351nm等。單頻準分子激光是連續的脈沖氣體激光,釋放的光波長在紫外線范圍內,脈沖寬度為10~30 ns,頻率為0~35 Hz,4種單頻準分子激光的波長為氣體特異性的。
     
        目前普遍使用的ArF193以及Xecl308準分子激光已經在醫學領域和光電行業得到了廣泛的應用,氣體按科學的方法分析,從稀有氣體中去除所有有害的雜質。氣體分析證明,這些雜質的存在會影響準分子激光器達到最佳的使用性能。氣體公司在全球銷售這些優質的稀有氣體和平衡氣體,以滿足所有準分子激光器的使用需求。全球最大的準分子激光器氣體制造商已經證明:和任何激光器相關的任何氣體或氣體混合物,都對激光器的性能造成極其重要的影響,這些影響包括:
    A 脈動能量
    B 輸出功率
    C 充填一次氣體的使用壽命
    D 穩定性(一個脈動到另一個脈動)

        為了確保激光器性能的最優化,氣體的化學家研究團隊認真分析每種氣體化合物,特別監控對激光器性能有害的雜質氣體,以確保產品的質量。這些分析主要針對(但不僅限于)水分、氧氣、碳氫化合物、和其他一切不必要的雜質。
     
     
     
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