1、用做電氣絕緣介質(zhì)
六氟化硫主要用做電氣絕緣介質(zhì)，六氟化硫可以使電器設(shè)備小型輕量化且運(yùn)行安全可靠，同時還可以降低設(shè)備造價。用六氟化硫作為絕緣介質(zhì)的電力設(shè)備主要有變壓器和斷路器。大功率的變壓器大多使用六氟化硫做絕緣介質(zhì)，一些小型六氟化硫已廣泛用做各種研究和工業(yè)用儀器的輔助部件。
2、作為大氣污染研究的示蹤劑
為了研究污染物在大氣中的傳送和擴(kuò)散規(guī)律，人工釋放示蹤劑于大氣中，然后在下風(fēng)方向進(jìn)行追蹤測定，從而驗證和發(fā)展大氣擴(kuò)散理論，建立大氣污染濃度估算模式。六氟化硫作為示蹤劑的優(yōu)點很多，六氟化硫在常溫下的化學(xué)惰性強(qiáng)，光照下穩(wěn)定性高，難溶于水，能隨大氣運(yùn)動，無沉降無毒。加之其釋放、采取和分析方法簡單，因而成為當(dāng)前較理想、應(yīng)用較廣的一種大氣示蹤劑。
3、在半導(dǎo)體器件生產(chǎn)加工工藝中的應(yīng)用
氟化物氣體被廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體加工工藝中。由高純硅組成的晶片是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)。可用蝕刻后的腔體清洗沉積在化學(xué)氣相沉積腔體中，為了防止晶片在下一步驟中被沉積物污染，腔體必須在一定的間隔時間內(nèi)進(jìn)行清洗，為了保護(hù)環(huán)境，六氟化硫可以循環(huán)使用。