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    N2_電子工業用氣體 氮國家標準GBT2016944-2009

    2019-7-8 14:50:20

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    一、范圍
    本標準規定了電子工業用氣體氮的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
    本標準適用于以深冷法從空氣中提取的氣態和液態氮,以及經電化學方法得到的氮。它們在超大規模集成電路制造中用作保護、吹掃、覆蓋、加壓,化學氣相淀積等。
    分子式:N2
    二、技術要求
    電子工業用氣體氮的質量應符合表1的要求
    氮氣
    、標志、包裝及貯運
    1、包裝容器上應標明“電子氮”字樣。
    2、瓶裝氮氣壓力應大于氣瓶公稱工作壓力的90%,用于測量的壓力表精度不低于2.5級。氮氣在20℃101.3KPa狀態下的體積按GB/T3864R FWPG.
    3、返廠氮氣鋼瓶的余壓不應低于0.2MPa。余壓不符合要求的氣瓶,水壓試驗后的氣瓶以及新氣瓶等 在充裝前應按規定要求進行加熱、抽空和置換。
    4、氮出廠時應附有質量合格證,其內容至少應包括:
    產品名稱、生產廠名稱、危險化學品生產許可證編號
    生產日期或批號、成品壓力或質量、產品技術指標
    本標準標準號及產品等徐若、檢驗員號
    5、氮氣比空氣重,可能累積在低層空間,造成缺氧。空氣中高濃度氮造成缺氧,有神志不清或死亡危險。進入污染工作區域前,檢驗氧含量。
    6、容器漏損時,液氮迅速蒸發造成封閉空間空氣中過飽和,有窒息嚴重風險。
    7、液氮可能引起凍傷。凍傷時用大量水沖洗,不要脫去衣物,給予醫療護理。
    8、在氮有可能泄漏或氮含量有可能增加的地方應設置通風裝置。
     
     
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