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    NH3_電子工業用氣體 氨國家標準GBT2014601-2009

    2019-6-20 11:03:26

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    一、范圍
    本標準規定了氨的技術要求,試驗方法,檢驗規則及產品的包裝、標志、運輸、貯存及安全要求。
    本標準適用于半導體工業,氮化硅、氮化鎵的化學氣相淀積,也可用于硅或氧化硅的氮化。
    分子式: NH3
    二、技術要求
    1、氨電子級產品的質量應符合表1的要求。

    2、氨光電子級產品應符合表2的要求,重金屬含量應符合表3的規定。
    NH3
    NH3
    三、氨氣安全要求
    1、氨的生產、使用以及貯運應符合《氣瓶安全監察規程》(2000年)、《壓力容器安全監察規程》(1999年)等相關規定。
    2、氨無色,有刺激臭味,能傷害人的眼睛和呼吸器官,在使用時應注意防護,防止人身與氨接觸,以免燒傷。
    3、氨的生產、使用應有適當的尾氣處理的措施,以防止氨對環境的污染。
    4、由于氨易溶于水,應使用捕液器或止回閥防止倒吸,如發生倒吸,鋼瓶內可能爆發猛烈反應,除此之外,還有可能對鋼瓶造成嚴重腐蝕。任何意外的倒吸都應及時報告供應商。
    5、氨可燃、易爆,它與空氣或氧氣混合有發生爆炸的危險。對于干燥的氨-空氣混合物,爆炸范圍約這含氨16%-25%。在下列三種情況下,爆炸范圍將擴大:混入其他可燃氣體,如氫;用氧代替空氣;溫度升高,壓力高于大氣壓力。
    6、在使用氨的環境中不能有明火。
    7、氨氣瓶應貯存在不易起火的地方;運輸及搬運時避免受沖擊、跌落和陽光照射。
     
     
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