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    H2_電子工業用氣體 氫國家標準GB_T 16942-2009

    2019-6-6 9:13:54

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    本標準規定了電子工業用氫的技術要求,試驗方法以及包裝、標志、貯運及安全。
    本標準適用于以氫氣為原料經凈化抽取的瓶裝、集裝格裝和管道輸送的電子工業用氫氣。它們主要被 用來提供還原氣,作為外延工藝的載氣以及等離子體蝕刻劑的配氣原料。
    氫氣技術指標
    氫氣技術指標

    試驗方法
    1 抽樣、判定和復驗
    1. 1 瓶裝、集裝格裝氫產品應逐一檢驗并驗收。當驗收結果有任何一項不符合本標準技術要求時,則判為不合格。
    1.2 對穩定生產的管道輸送的氣由供需雙方確定抽樣頻數。企業應確保管道輸送的氫產品符合本標準技術要求。
    1.3 氫采樣安全應符合GB/T 3723的規定。
    氫氣在出廠時應附有質量合格證,其內容至少應包括:
    產品名稱,生產廠名稱,危險化學品生產許可證編號
    生產日期或批號,成品壓力,產品技術指標
    本標標準號及產品等級,檢驗員號


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