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    真空法氦質譜檢漏原理

    2018-9-7 13:43:14

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    檢查原理:
    采用真空法檢漏時,需要利用輔助真空泵或檢漏儀對被檢產品內部密封室抽真空,采用氦罩或噴吹的方法在被檢產品外表面施氦氣,當被檢產品表面有漏孔時,氦氣就會通過漏孔進入被檢產品內部,再進入氦質譜檢漏儀,從而實現被檢產品泄漏量測量。按照施漏氣體方法的不同,又可以將真空法分為真空噴吹法和真空氦罩法。其中真空噴吹法采用噴槍的方式向被檢產品外表面噴吹氦氣,可以實現漏孔的精確定位; 真空氦罩法采用有一定密閉功能的氦罩將被檢產品全部罩起來,在罩內充滿一定濃度的氦氣,可以實現被檢產品總漏率的測量。
    真空法檢漏有何優點:真空法的優點是檢測靈敏度高,可以精確定位,能實現大容器或復雜結構產品的檢漏。
    真空法檢漏缺點:真空法的缺點是只能實現一個大氣壓差的漏率檢測,不能準確反映帶壓被檢產品的真實泄漏狀態。
    用途:真空法的檢測主要應用于真空密封性能要求,但不帶壓工作的產品,如空間活動部件、液氫槽車、環境模擬設備等。

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